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前的准备:
+ Z! v7 g& [$ N$ N* {1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
- y+ k/ A9 L G7 N& x3 \, l2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
5 V( O' X/ [0 \8 h1 ]3 布局前考虑好出PIN的方向和位置( e( f1 g. M, B& H' Z8 W
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
9 @9 x! ~2 c) l3 F' e5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。
( R: a/ _: B- K3 z! O$ m( Q6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
4 Q4 H* {, X) ]$ ~1 p7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
" f- K, L; {0 |8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.5 Z$ n& S$ S, H% n" @. v+ e
9 将不同电位的N井找出来.
0 b( F) g+ }5 P- i2 N5 l/ `+ F0 _& J7 H* z: P5 g6 a& ]5 ?# Q
布局时注意:( _6 w9 R5 v) B6 ]4 ?0 `' V
10 更改原理图后一定记得check and save4 A8 @; J" p6 y9 n2 U
11 完成每个cell后要归原点
; C; O2 N$ x% K, J$ r12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
, `2 N ?. z! ?" w0 b9 ]- x13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。$ _7 p8 f" O2 O
14 尽量用最上层金属接出PIN。 J* X! @; ?% F. S, y9 }( a) }
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
$ Q" K! y) d6 Z/ C+ D4 n7 a16 金属连线不宜过长;2 Y, J) u# b: a1 `- r. h$ V
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
+ ?4 ^3 j/ _* W/ ~3 @( i3 [18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.0 w T& P6 e/ D k
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。$ E7 R" m6 E& K& I! T
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.5 c- W. j8 w/ \
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.0 V8 p8 z& [# {/ D7 k5 @$ R" i
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。, J1 C2 l. q& s1 D6 c1 R( r E! |
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.( n' J+ L2 n6 Z6 G7 w
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.1 @4 ^4 M6 f1 v1 D
25 一般打孔最少打两个
! A5 w& |/ h( m5 e# Y26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.2 s( ]" r. ]9 r+ }1 Y6 N
27 薄氧化层是否有对应的植入层
! ]0 E8 t4 c6 z, z! C8 \' y6 f28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
) J }7 A( {* v* g# ~) M' |3 l! M29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度! c* C6 i/ W8 j7 E! T* x
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
- Z# D2 U+ |/ q, y& \- V) E' G! r31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
" w: K. o; n0 ?8 r" e" q32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造." Q3 u& B4 ]% g& r
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。& ] f# Z% f* X& K- p. Y
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.! `( u/ M: p* \, g6 O+ Y
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层6 }8 \( u7 i# \
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
- l2 s" O3 h e9 p$ {* E3 ^37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。0 c5 A8 i& L5 s d& Y
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。4 e1 `" A! H" ~; W( Y, X
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。- W3 d. `' t3 P4 y+ S+ P
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
, x% ^; I* X/ {2 Q- s41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
- g) g- Y# p' b' S+ o+ o: P! Y; e6 n42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
& c0 x1 ]7 ^* Q2 @43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
: P+ w0 ?3 E# ^: [+ ?5 a7 m44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
q1 R7 B6 K ~) ]! U# R/ l U45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
, R {0 n# |+ N2 y9 \* j46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。" V0 {! f# V& e
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置); @0 t: ?9 J' x! l( g/ M, g
21
) w' a4 A* p. L* K中心匹配最佳。4 F8 f8 c" x1 e' ~8 {* W- v. }+ e' y4 `
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
) Z3 l6 v4 [7 Y' S48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
/ T* g* x7 x0 P2 R+ j! P4 ~4 C49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
/ T: t, \/ G- M& r; t9 ~; \50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.0 W3 r B- \# M% ?4 g
51 05工艺中resistor层只是做检查用8 {" C9 ]2 P/ m$ u6 k( a
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.; N& x0 O# t$ u
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
. g& Q Q6 s( z% J: W7 h3 k% D) n54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
% |* y/ F* v P5 J55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属./ C1 u( A) `$ A0 n% N4 M; a
56 关于powermos
9 A7 L( [5 c# d7 ?$ }; T/ @① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,8 o9 O- i- d, E- }% R4 f' ], d% w2 C6 g
② 几种缩小面积的画法。
6 O$ N9 O4 y& `+ b# M+ B6 |- A③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
9 N" F8 L6 Z A5 Z, u57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).) L% I4 M, |" E1 j
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
8 N ? G# B# V/ N59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.) c+ Y0 z2 w9 a5 G2 u9 ` R
60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。- d% e @. j( l
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.* a( n; v" u$ Q$ h$ L+ h
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
0 h6 i; t# ~. \! v: g63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
( q+ k/ h+ @* R64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
# d1 {) G* t+ A; a9 e" q65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.$ y1 Y$ F8 \& x; B
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.- k3 i: H4 l, k) _
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联2 e- U1 s* i7 R% @
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.
- u$ f, Q( m- |7 ^' X' G7 u. v9 n! {( x2 ]% R9 n, X0 E) Q
出错检查:0 l# r! z0 N5 V$ \6 O0 k4 l
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确; v" C D5 ]9 w$ y
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
- y0 Y% u7 _: P/ q- E71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
' k: p/ ]; t$ x5 \4 w# w* B72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
, M0 O0 G) z- d. O$ }$ ?3 ~73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起0 E/ n8 j- t& b% Q0 s. P' i
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端+ u3 m9 G2 B8 e& N1 `
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
6 P6 m" d7 V. W" t. \. d2 i4 e76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. 6 Q0 h) a0 j1 g0 F( y; G
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.4 I; P, r- b" G9 R/ f! o
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy7 m, z5 p1 |, j4 S% R9 f
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.8 y, X9 {/ T/ ], \$ s
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
9 m+ y, }: |8 A- N81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
& Z0 |4 m- K0 v% r; N4 @1 q; r: z& t82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
|/ s S0 B+ K% Y2 b83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.7 q* y" ^8 }: V5 D- g1 m2 D
0 x, _: o9 M/ \0 B) U) {5 b容易犯的错误& J# p( S, r) E1 M* {' ~$ j/ Y e
84 电阻忘记加dummy b7 b5 q/ l; i' ]
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
1 w% t' p( N) F2 ~7 P86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.2 t2 y4 o1 D5 H* K9 f( J5 {& u# }0 c
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
' \/ g) a5 O k, f88 是否按下capslock键后没有还原就操作
, c; R( L9 A5 k* H8 U. m8 v u
, q. C8 K" n4 R, `+ D- ?7 e节省面积的途径) |' R) r9 P7 A
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.. ~$ l- H: T6 |0 m& G- k/ K8 S$ I
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。7 o' y6 d3 r" E/ I0 y, l
91 电阻的长度画越长越省面积。
. i& `) j; E9 v( H0 b' J S+ S92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
7 `4 m5 o2 t. U* }/ f- Z93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。* S, a. l! W7 _2 x) L# f" L
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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