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8 m* \2 Z# Q9 h( d3 Y! s闩锁效应是CMOS工艺所特有的寄生效应,严重会导致电路的失效,甚至烧毁芯片。闩锁效应是由NMOS的有源区、P衬底、N阱、PMOS的有源区构成的n-p-n-p结构产生的,当其中一个三极管正偏时,就会构成正反馈形成闩锁。避免闩锁的方法就是要减小衬底和N阱的寄生电阻,使寄生的三极管不会处于正偏状态。 静电是一种看不见的破坏力,会对电子元器件产生影响。ESD 和相关的电压瞬变都会引起闩锁效应(latch-up)是半导体器件失效的主要原因之一。如果有一个强电场施加在器件结构中的氧化物薄膜上,则该氧化物薄膜就会因介质击穿而损坏。很细的金属化迹线会由于大电流而损坏,并会由于浪涌电流造成的过热而形成开路。这就是所谓的“闩锁效应”。在闩锁情况下,器件在电源与地之间形成短路,造成大电流、EOS(电过载)和器件损坏。 MOS工艺含有许多内在的双极型晶体管。在CMOS工艺下,阱与衬底结合会导致寄生的n-p-n-p结构。这些结构会导致VDD和VSS线的短路,从而通常会破坏芯片,或者引起系统错误。 & N4 f% Z/ K+ Z h8 g; Y
例如,在n阱结构中,n-p-n-p结构是由NMOS的源,p衬底,n阱和PMOS的源构成的。当两个双极型晶体管之一前向偏置时(例如由于流经阱或衬底的电流引起),会引起另一个晶体管的基极电流增加。这个正反馈将不断地引起电流增加,直到电路出故障,或者烧掉。
. ?% V0 D- G2 r6 h5 e0 q8 y1 ^ 可以通过提供大量的阱和衬底接触来避免闩锁效应。闩锁效应在早期的CMOS工艺中很重要。不过,现在已经不再是个问题了。在近些年,工艺的改进和设计的优化已经消除了闩锁的危险。 0 i* m9 ^2 {. l% z5 C
Latch up 的定义 􀂃 Latch up 最易产生在易受外部干扰的I/O电路处, 也偶尔发生在内部电路
- b1 N4 m6 d2 y: ]% J- j􀂃 Latch up 是指cmos晶片中, 在电源power VDD和地线GND(VSS)之间由于寄生的PNP和NPN双极性BJT相互影响而产生的一低阻抗通路, 它的存在会使VDD和GND之间产生大电流
' v& K0 i/ }+ }. l4 ^􀂃 随着IC制造工艺的发展, 封装密度和集成度越来越高,产生Latch up的可能性会越来越大/ U/ E8 o3 N, w
􀂃 Latch up 产生的过度电流量可能会使芯片产生永久性的破坏, Latch up 的防范是IC Layout 的最重要措施之一 Latch up 的原理分析 $ U- Q9 B8 |6 x2 C5 Q) b; A
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Q1为一垂直式PNP BJT, 基极(base)是nwell, 基极到集电极(collector)的增益可达数百倍;Q2是一侧面式的NPN BJT,基极为P substrate,到集电极的增益可达数十倍;Rwell是nwell的寄生电阻;Rsub是substrate电阻。
. `" y/ a; n4 _* B 以上四元件构成可控硅(SCR)电路,当无外界干扰未引起触发时,两个BJT处于截止状态,集电极电流是C-B的反向漏电流构成,电流增益非常小,此时Latch up不会产生。当其中一个BJT的集电极电流受外
% Y) D; _* b4 H3 E) i, i2 j3 m3 s部干扰突然增加到一定值时,会反馈至另一个BJT,从而使两个BJT因触发而导通,VDD至GND(VSS)间2 a$ H6 S1 t8 K, ~2 s$ C" T
形成低抗通路,Latch up由此而产生。 产生Latch up 的具体原因 • 芯片一开始工作时VDD变化导致nwell和P substrate间寄生电容中产生足够的电流,当VDD变化率大到一定地步,将会引起Latch up。! J9 F5 G! x; W6 }2 [9 T4 V
• 当I/O的信号变化超出VDD-GND(VSS)的范围时,有大电流在芯片中产生,也会导致SCR的触发。5 z) y& J, [0 _1 C1 a
• ESD静电加压,可能会从保护电路中引入少量带电载子到well或substrate中,也会引起SCR的触发。, o* Q0 R& O+ N0 I3 V8 y' w
• 当很多的驱动器同时动作,负载过大使power和gnd突然变化,也有可能打开SCR的一个BJT。1 p) H s9 f9 j
• Well 侧面漏电流过大。 防止Latch up 的方法 • 在基体(substrate)上改变金属的掺杂,降低BJT的增益7 F9 ?8 U# w a+ g! {0 f
• 避免source和drain的正向偏压
) Q1 u2 S5 |2 |0 ~• 增加一个轻掺杂的layer在重掺杂的基体上,阻止侧面电流从垂直BJT到低阻基体上的通路6 g' Y! [- P/ r% x
• 使用Guard ring: P+ ring环绕nmos并接GND;N+ ring环绕pmos 并接VDD,一方面可以降低Rwell和Rsub的阻值,另一方面可阻止栽子到达BJT的基极。如果可能,可再增加两圈ring。' I/ V3 U( b: A
• Substrate contact和well contact应尽量靠近source,以降低Rwell和Rsub的阻值。
& U& D" b9 ~0 I, f• 使nmos尽量靠近GND,pmos尽量靠近VDD,保持足够的距离在pmos 和nmos之间以降低引发SCR的可能
( ^2 ~5 h$ {7 n/ r! y• 除在I/O处需采取防Latch up的措施外,凡接I/O的内部mos 也应圈guard ring。/ S5 D) J( W$ c6 D( P# [/ q' c
• I/O处尽量不使用pmos(nwell)
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