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前的准备: ?8 r% z1 J' w3 w2 l6 |2 E! Z* X6 r
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
# I$ z9 r, b' `0 j/ ^$ \ x2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.8 k! M7 p- o1 N) ^8 ^
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置
1 w* c j& Z: O; J+ J4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起+ ]4 E/ Y$ f; {. A- X" s
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。" g5 }3 d$ w1 ^9 m4 J5 P
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
! C) i3 T/ G) G7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
. b o: i1 a# `. S3 i, h1 `" j! y7 s8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.* d9 n2 r# N; {
9 将不同电位的N井找出来.& P* d! q4 }" f8 A
$ l& S x/ `) b6 H8 A+ [! i布局时注意:: _$ @9 a$ p9 K: N9 s/ I
10 更改原理图后一定记得check and save. i( y$ M$ ~% u; r' ^
11 完成每个cell后要归原点
% z* }: K) G. ]! J% C% P2 l: u12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
+ @& {, V2 A# R3 l/ L2 u13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。7 L( g/ X: j ?- e" C* f
14 尽量用最上层金属接出PIN。! W) E5 [+ \, {
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
# O p, X& ~: f4 k2 t& s( Y16 金属连线不宜过长;6 g# b$ z1 w1 W8 P* l( a
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
0 a, B! X4 T0 ^$ {18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.% p# d: {+ ^' S% @0 O# _: W
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
, P# h. J- P% p7 `8 a) V( V1 F20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
+ r4 n( e7 |2 c9 z) [0 a21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.: z7 m. ^/ T9 Z; t" q
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
* p+ z/ ~% m; U. r5 \: w23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.0 ?0 e7 L% r# H- A- R/ V3 H3 }
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
- q! |7 B0 R, J25 一般打孔最少打两个" L, ~6 K/ K9 e8 i' t: b: R2 B
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
# r D1 S$ u: U3 B6 u6 D; d27 薄氧化层是否有对应的植入层
( B8 W2 R5 k0 @- ~5 _& U28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
4 t9 x2 Y, c/ N$ F, g$ {, R29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
9 m4 Y# ]; F2 ?30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。# T) e5 W% l$ f) S) H9 O0 z8 e4 Q
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
3 U( ]; s7 C& b5 N32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.( ?# Z& ]3 C4 v( w: {( H
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。. O9 Y( u% |9 t6 c' N `3 x7 M
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
+ [8 w9 K0 @- b% s, W, C35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
^0 E" d+ ?' u5 m36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.9 u7 R0 l4 ?7 |' o9 s
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
. Z" _; q0 h. {7 g38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
7 A* O" Q& f7 d3 r39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。
/ T/ P& C8 C: i40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.) y. K) l% g& R* s7 R: I
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
5 \; V% x% D/ C5 H42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
v: H* c' {1 x$ e. f+ t( c43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.* z+ A4 W8 }4 P% }' d: q
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.& e" Y* l. s- @; Q& W3 o
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
) {% @: L" l( \$ ], f9 `46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。! d: m7 t# y t7 ?) y# `1 \: V! O1 [$ Q
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)
/ V4 F( c( g6 V- A+ Y; s+ r 21
- d7 Y5 c, N0 W8 H1 o中心匹配最佳。
; z7 C! M4 m: \5 b6 K7 s( t47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.5 `3 W: T. k" \/ z9 t6 p+ x1 A
48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
* `3 c, W$ P" t9 ~' M @, }% {49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。8 P7 D" }$ M9 c# B! @
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
& x2 O8 s" A2 W* O; G( s# {51 05工艺中resistor层只是做检查用
: M7 V* z: D [52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.+ }- ]$ d+ k& a; }) e, J N5 U5 E
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
' u( R |1 G- ]- |54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。' T, x9 g. J) T2 X+ |5 o( u/ v
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
* g5 y5 v* Q; H2 ]( p56 关于powermos# L. W( x) t- w1 |/ v
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,$ q! ^9 ~) v/ a, R
② 几种缩小面积的画法。2 ?# G& n# G g9 c& P: S4 ?+ w
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um3 v: K( B: b! }+ r* |7 ]4 P
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
8 [' N8 E- j3 R! E58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
8 q0 H# U) J" p59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
/ w4 H" J* ?6 ~) I; G60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
# F4 k" n- _" g9 v3 S3 a- d61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
7 g' j1 v' l% l5 E62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
0 \ P) G1 k1 Y8 x/ e63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
6 |0 S: R* l% g7 J64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
% k% x: v. a4 S; N+ a9 u* L65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD. Z0 A6 T* g0 M# Y2 r& b
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
, \. N! H0 r9 `0 h1 c" N( o% x67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
; v( r8 G9 L$ x7 l. k; M' I& ?68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.( Z+ `& r" \# |! J
) j4 Z: w* }7 M! o7 o7 j出错检查:
. m: E4 ^. R5 K. n' V69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
/ D+ i) g* f+ A* a: l, ^1 P70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
4 }6 v) F7 N1 x2 ?71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
/ G. a' c0 C1 D. t) u4 h* ^72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。) \) X2 z# K. {6 }& `
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
5 h- q7 U& K- D& u) d3 a74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端$ k/ M1 d, v9 |8 P- }) T
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
9 m2 F2 _& C8 Z& L& O, O76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
2 _: B. W7 T2 ^: Y77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.9 s5 ]: L0 a% U4 i7 x4 N' h0 N
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy! S! x. J/ r# A. M
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
7 A6 i- k! a9 i& N80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.+ h# _: ?1 d- ?
81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
/ D0 K: O! Z/ o" q% w; u( y% M82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
: V2 V% M7 a3 b# Q Z" a83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
% M" \- b5 f$ `) q8 E/ Q5 v% f5 n8 c' o& k, S: W
容易犯的错误6 G ~. i; _- u; q. R$ b: U
84 电阻忘记加dummy
0 \6 P5 X6 M8 D) O4 ]7 ]& ?0 k3 w85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
, M3 Z$ Y6 t% ]# @: ]. w86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
* b$ q% l- u* C6 P( t0 H1 U8 ]% y87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.$ a: N+ u+ H& d& a- S# y4 C% F" i
88 是否按下capslock键后没有还原就操作$ H+ O) @; c8 p$ M
/ }- S+ o3 Y6 W! ^% t3 W* {$ P
节省面积的途径+ J7 B B1 X4 ]
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.; s# K. D+ Y+ a+ B
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。; k; `* ]' ^0 \1 K5 `# h
91 电阻的长度画越长越省面积。
7 Q0 R: {/ D7 }0 v, t/ v92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.6 _& L3 G, \2 L8 C6 O4 ^% a
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
- a, u; w2 J4 ^! ?7 x94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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