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前的准备:
( [3 o4 v1 T' P2 Z4 T1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
! {; D: a6 u) Z9 A2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.$ D* F# {" \. F7 ~
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置
+ w, {7 m# c3 w! O4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
' w- `2 |: x% v5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。4 Z: K* e9 z; }5 \, {' c
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
) [7 O, d# _; d, z5 L, q2 V9 o8 h( v7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
4 U2 M& H* s/ a9 K$ K8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
& N) ?" J, F/ m* f/ r4 E9 将不同电位的N井找出来.
R+ U6 M" x6 P$ T1 l7 C; k. W6 E) u, L# j
布局时注意:0 K! l; w7 k9 P* w$ m: e, `
10 更改原理图后一定记得check and save- o+ Q6 U6 C( V8 V h) J6 G
11 完成每个cell后要归原点) {6 i E. ]* I- g' } a
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
9 M9 q" v0 w! o: U. f13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
8 t0 v2 v: \# Q& b8 V14 尽量用最上层金属接出PIN。5 `: e4 c$ q" J4 V4 G
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.$ t# Z* ]2 N8 K( p9 o; I
16 金属连线不宜过长;
& R7 w( U/ o$ f* q) D17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
1 E, K3 S+ c$ l) e: p18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.6 |6 ]/ L) E2 a! t* w5 t
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
. e5 ~# Q m: P9 e' m: _20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
2 ?' o/ ^! u, t21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.$ x( _2 W! w/ e% M7 R! W
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
" E' S- Y3 O5 Y) r) W2 Y) S23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.6 ~* Q1 [ A5 @ h
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.$ P2 r/ y7 s' g8 i: ]* {* X
25 一般打孔最少打两个
% ?( R0 p7 M9 w! a' g1 o26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
: n- e" l; W( q! y) q27 薄氧化层是否有对应的植入层# h3 X. Y0 U8 a( X% R8 w
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
9 c( T+ u1 Q, z29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
5 J2 @( Y1 H+ n9 g. w: ^/ a+ }30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。- b( ]0 F* _' @2 L
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
. q1 ?) R T) ?, S$ P32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.) _- V0 k4 N0 {( I n2 f5 @+ ^! O
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。& L0 M+ m9 J" e% q7 h j3 N# O2 D
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.9 V/ y2 m# F( S; I" Z4 e. n
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层- e& h3 C1 P" g3 }4 C$ e! \! p
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.' I+ d& H6 u0 T: Q0 u
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。 P5 |0 `1 e7 X& b3 I1 S
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
; h* `' N( Z. }) R39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。- j P: Y3 r3 J3 y) W4 E W
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
) S% o# j+ }1 M ~& L8 f: L4 ]41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
1 C f! D' T7 h# n( G42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP." j% o/ G1 \9 { d
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.& d3 L$ M7 M% s7 Q9 u/ a
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
5 p5 h. K5 Z$ K6 n/ t6 p- T45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
; n; X. d2 y$ B0 K46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。1 j% `; x( e" v8 z' M' Y, h
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)
2 N- }9 f9 W, o ^! W, K 21
) T: x' \( r, M0 H# F' H) J中心匹配最佳。 }+ o m) r: Z2 |6 p4 Z
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
a5 ^% }. z5 W @+ ~48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.: L6 Y" ~* W$ s
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
! B6 o# Y6 T- a. p50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.& w! i: _; T2 r# N
51 05工艺中resistor层只是做检查用
r7 {, L7 A& ?0 ?" ~$ y52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.* g( U) t4 X* r/ F# p. Q4 t
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
3 C5 F% z; u3 R U7 E# d3 i54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
2 q% N( u! k% P4 m55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
C6 b* }; i& A2 r; p% W8 c56 关于powermos- s& I( U' s6 f: f8 }
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接, _& [( H3 C4 d5 l j+ G# I
② 几种缩小面积的画法。
9 S2 a6 @ E, E* b3 k' v. O③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um/ r" ]- e$ g# }' c" j8 m2 A
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).8 d r, g. H+ z/ ~
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向; u& g1 R' P+ i+ X' _
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
& S% a# w0 `. L60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
9 i, H% D$ e; ]* p8 N61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
5 F3 m% e" y+ N7 U62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
5 c0 O6 W9 `/ J( q: _) T+ k63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
8 \/ H: l# p. @ w64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)/ c9 L; Y0 {2 Y2 W
65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
- n' g) G5 X% q: Q66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
5 K6 b! W8 y) X& l: b67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联% S1 _. u; s/ b0 f+ O( t3 o" t. E
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.( H- C4 ?. c* c: f
9 A. o$ P0 h" p, t出错检查:/ ]2 G9 F# A0 {
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
# D: [- K p; L& z* L' Q70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX( d: N/ v" Z, e
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。( C( o" Q K+ W3 t! Q' v4 { ~/ h
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。& J3 Z8 t; Z( B# V! S# D
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
: {' W1 e {1 [8 P- m* v! |! ?74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
2 y* w8 d+ }2 r; b4 K0 q/ f75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
4 J; e$ u2 P% |76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. . ?8 j3 X- t4 y5 }
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.( a0 S( k% L( x5 C9 H* @* y; |
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
% K0 s1 N( L8 e T79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.* @4 O# K z7 t0 |! O
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
4 |2 t% {) U3 x81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱., l- ]5 W# L8 ?- O4 j6 O. O0 D
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则./ K5 t1 a9 g/ J9 O# u' _
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.5 e; P: A* P2 \
: p" Q& z0 K# Q$ s7 Z. s容易犯的错误 o( v% Q2 [$ t' S/ V
84 电阻忘记加dummy6 ?: J% d! O- W; G
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
" u2 x, }6 ]; z: {# C) L7 ~86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
% f# y- J( ~/ I2 y0 v87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.. O) b9 C% {8 [# D h: L D+ ~
88 是否按下capslock键后没有还原就操作) V4 I8 C- S" }+ z% v
) f% q! j3 u% ]9 @3 ~. t/ V节省面积的途径5 @, I8 }* ^2 N8 w# g6 E
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
- {5 h; V# u; l% ]! S# Y90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。6 ~7 @: t7 Z6 u1 E# R
91 电阻的长度画越长越省面积。 F& b! l: ^$ b x2 T. h( L- q" ^5 u
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
- M2 K6 N6 ~% {/ r; ?& r$ ~- X93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
( q# B7 Q! T3 U. T% P. V& R- V94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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