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前的准备:
?) M! e9 I; e6 r' I4 `1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
! k1 v A& U5 E0 o+ e2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
$ y1 o9 `& D0 o" y' D2 s3 布局前考虑好出PIN的方向和位置
8 V% F8 }2 i5 D( `+ d4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
4 l( _' E/ S) N$ s5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。
, K7 y8 H& t9 J& Y& \9 m6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
9 d2 J& m2 Z5 Y9 |7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.$ ~- h4 _" `6 c
8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.7 J4 J! j8 L: p$ @3 O; U
9 将不同电位的N井找出来.
# B$ g$ _) x+ Q$ s; ?% W0 L" _$ E/ j4 n7 M+ j) T0 S. i
布局时注意:- s' s4 I* C" p7 m
10 更改原理图后一定记得check and save5 q; \8 `; B3 N. x8 k( S1 A
11 完成每个cell后要归原点. w1 [+ f3 o3 s9 Q \
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).# i e9 @8 `% _8 V5 `1 N$ X# T c
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。$ X* V. P5 ~: u3 b3 e# |/ K
14 尽量用最上层金属接出PIN。' i6 A- m' w* {' v4 l
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
9 p# x3 r d( \8 _! E( \- N16 金属连线不宜过长;
" H9 Q c: `: f: w! e17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
' y k9 I" e# x. G. q' _ @( X18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.0 {! @, }7 \% O( `) \" [, R
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。* O1 n8 V0 g. A% |4 f- m: f8 h6 F
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小." z; c$ E! q9 p" `8 B2 C" `
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.% M g; Y& Y- ~. Q$ p2 f) x# C( x+ u
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
/ G! A G" J& j# ~$ r) `23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.4 K4 n- w/ b2 h1 V8 A( _
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
# m0 y, u& D1 G4 @) ~4 Z25 一般打孔最少打两个
& s" [) A% J% F1 I& q- u$ |$ Z& f: x26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.. R( y0 G1 [" e6 b9 [* `( b* D
27 薄氧化层是否有对应的植入层4 f7 v I2 P% J7 ?) o
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.8 u; `! R7 V0 r3 v2 p( C" W
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度6 N# |. _5 U! R0 M) m5 Y
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。# u2 h9 ^ f+ u' T' l. ?
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。1 A1 W c% p" R1 W
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.- g: g7 f# }+ j' N. K9 @: R
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。) Z" `, O! ^. `
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.8 ?' i$ A2 M+ J: d* w! d
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
' j& z- A# ?# D$ I7 I36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.1 p. ]9 `2 k2 n; Q9 z
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。. G# y5 S% \, y" ^" I4 Q
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。4 d7 O' y, I9 M2 E; M
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。
8 T6 r) y' E5 W/ ]/ c40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
5 R Q3 X9 O. ^2 O2 q$ F$ _) d p41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
* i t: N4 g: h42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP." d$ N/ ^9 j! b0 g0 n3 U
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
* ?; \7 M7 M/ E5 V b- P44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
$ Z% F) Y& v1 R5 f( H: n& d" a45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.% Y8 k* O* \, J) B5 \
46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
8 M; |, I+ D( q1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置), m; ^7 z+ u' W5 t. ~% q& X
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H% u* l8 K3 Y/ [+ j中心匹配最佳。
- T3 G0 t' n* s1 b* R47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.3 D2 L" X$ l$ I- T9 a, P* N
48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
; _+ a- `0 T7 m u# S' y# O6 R49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
! _/ j0 N \7 G8 S" c% ]50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
: b' f: ?# @3 L8 l51 05工艺中resistor层只是做检查用4 C9 s; m' s; Z: h, N
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
d# H5 G8 t' }53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.% p! X1 N# m( @1 h
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。3 O- f0 ~+ R" b7 M8 f: m& @
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
4 h1 Z h; ` C1 f. @! K4 a56 关于powermos
' u) n2 n. |4 C8 d2 n① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,6 I, R; a& T6 z, j
② 几种缩小面积的画法。
; s8 l6 O/ k4 i0 O& I* E9 G+ R③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um, |1 w" A) u# N7 ~2 T+ V
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
0 T+ Y, p1 M( q, K, A7 f8 q58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
4 F; Z+ n* j' o& e0 |, _59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
[' c( e- M. v3 ^$ F- X' s4 |- m60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。# B% W- s+ i3 U6 {5 ? }
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略., n0 E$ [/ s# Q x, c6 C- Q5 y; _
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.& X; E$ S4 e; ^# x5 f O
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
/ h: y8 C8 \3 V1 ^" ~64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
. e. a$ u2 \: v6 M& P- G- k* y65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD., w7 U& h: z. w4 F3 m
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
$ z; R8 Y$ a- _- d C5 j! ]1 ~) a67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联( g+ k2 z6 w5 f& x. `7 H- C) N, R
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.3 F$ \' d, S% S. v
, [1 e. ?0 R! \6 H- N# t出错检查:
5 o s6 {* b. }% n& Q% g69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;# W U# V, K7 k, H
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
* g) @5 {1 s7 M71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。1 E" |/ h7 ]: B
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。' ~ N) f! B5 R1 D! Y0 U
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
) f/ Y3 t! t* d' ?, }* `# z, e% ]74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端- Z F, j( G4 x J1 Z
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
2 l( h' V7 @9 C/ _+ W* I76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. z7 a* {2 w( R2 h5 y) b
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
* J, b) ]/ F. Q( F4 ?7 }78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
; u9 G5 P7 [1 \- e) e3 }2 K79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线., q) `* `% s- ~# b/ f
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
" R6 ?, K7 [$ E81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
" C( u; K: i5 N; k6 m( Z/ Z2 q5 D) t82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.( t9 V9 |$ f2 F: \3 M' e
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
( H/ _. K, s6 ]3 Q' Z: w G, h
( r* L6 Q1 b0 Y7 B容易犯的错误, V0 W$ e7 ]" Z9 G6 S
84 电阻忘记加dummy9 y' X% a, l$ K5 E
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
7 N( U0 B/ S, E2 J86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
; K* } m- U1 T, s s" J$ v87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
/ h% A J* g2 r4 w8 p$ d$ Z7 N88 是否按下capslock键后没有还原就操作' h4 E d6 J& a& E7 ~& A. x8 G* w
H9 g9 k! M$ t9 y n! i5 a
节省面积的途径
# a' i) O# u0 K% D# n% y89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
& i: v9 `3 a* d; _$ T& B/ ?90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。0 d! t1 r' f0 b7 t( }" k
91 电阻的长度画越长越省面积。% I y: d3 a* o3 _- }7 ^) b' P
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
4 D$ ]% k$ I }% P8 t9 k' z93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
2 r! K g" X0 h. _94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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