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前的准备:
+ N/ \8 e* v# L0 E6 ? A1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025." k: X6 d$ ]& B2 @; Q" [
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.6 k1 U# t4 t/ R) [8 m/ N
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置; [- O% z3 Z R* m
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
0 n& G! D4 `. a3 ~" s* m( Q5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。
+ X3 _ f4 C0 u: p6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
3 N- s2 x8 e* `% l8 g7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
6 b; f2 {. j/ a% q8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
; N( T3 ]1 \( J1 h. q( P @* m9 O, |9 将不同电位的N井找出来.
+ F# b* ]1 F9 y' z. X* e8 s
; A& A" w4 U4 o; ]; A+ ^布局时注意:5 t. ^9 k; \) R* u
10 更改原理图后一定记得check and save
, n3 ~$ F/ L7 J) ?1 V1 B9 q11 完成每个cell后要归原点; U3 T4 R2 K# T, Q _ } t h" ?7 z
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关)." P: h: A+ n$ q% X: ~; T3 u0 c
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。7 \* E$ m% u9 U) _
14 尽量用最上层金属接出PIN。1 r/ ~& h; G7 |2 t9 x6 ?
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
7 Q; Q. w0 o f) u$ P+ l" d& h16 金属连线不宜过长;# E ^& L. R/ o: ~6 q; W, \
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。1 ^8 b, L2 E; \" D! w. `
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
A/ Y* @* {) ^3 N3 l. l Y19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
, ^, a) a; ]) Z. {1 m20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
4 [$ I M3 P) y+ N l21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
7 l9 {7 @2 V y3 f5 z0 {22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。; r& ?: Y$ Y! D2 T3 q8 |
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.# U/ y, F, {5 d6 e0 e, s
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
* K* E4 C2 W; Z/ O% e+ l25 一般打孔最少打两个
' X1 S8 O) c* e4 t3 z26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
% _% e' T; w# Q7 G27 薄氧化层是否有对应的植入层
# j7 u) J, C1 y1 I4 d; `' P( O0 t28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间./ f! m( z. w, w( q: ^$ C! g
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
) C' S6 m# n9 @' R) Z3 Q30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
! x7 y! V2 n0 H% |$ y% T+ _* D31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。1 m' J) T4 l# k: q
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
3 _/ J, g+ H+ |, m0 ~6 L33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
1 H9 Z2 C* U5 [; Q34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.& t. O2 N) J3 R7 \0 t
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
$ I8 o! U1 T/ `+ \% Y- |0 p; @36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB. a( ^) @8 s/ I2 I, J- p
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。3 d- [/ l2 M% ~8 n# k
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
: T |3 z9 G& n& L: z39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。
1 O- \# X- Q! I5 ?4 J8 t0 ]8 {40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.' k- t. U/ U, u- h
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
5 ^8 H5 R1 w# p2 s, m+ Z% r8 b" y42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.# ~5 B: Q0 t- N* ]+ q2 ~
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.1 m- r' m+ h, l8 h
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.8 w" w R; [* b2 `2 U/ O& v
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
+ S! y, ] b# H u! y) i6 S46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
( j1 H+ P3 Q, V+ [# e1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)8 G, L; ?/ w; P) N4 D* p/ f1 B
21
; f" s5 ~ |' }3 \9 s( J中心匹配最佳。
& f* m) Y+ [/ E& O3 \9 V47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
- I! E8 z. B; d: i48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.5 c+ T5 q5 k! x: _
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。) }: z4 @& m' q" ]
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
! N1 W. j/ Q- d! M1 K3 j1 i51 05工艺中resistor层只是做检查用+ m4 h' d, s$ h8 h) F
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
' Q- L, X# J6 G6 K53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.% m& C0 S6 g% h! u
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。6 y$ ^( q. {" k B! i t
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.* I' z; r; l' [+ u$ R9 H; z
56 关于powermos; N0 g- F B$ M' q: R s
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,9 M9 x& ]2 F/ p
② 几种缩小面积的画法。6 y% V! q6 h9 o1 h& f6 d; ^
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
/ K# f( z, q. R C" r ]57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
: j3 a, V0 |7 |, r# h- h8 [4 |58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
" T9 V6 v3 a+ y/ e59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
+ R5 Q: H& U$ @3 h5 C3 A" E$ M60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。; s4 c% e: ]8 Z+ [
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
) j8 n4 c# r, U- z$ u62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
0 Q2 @% r) Z7 V! j+ x63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
% K- j! N3 w/ V2 v7 k64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)3 N. B0 Y' b- A# Z) n! f
65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
; y% C1 f) s9 d' [7 l' ]2 l9 U66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
) V0 u C; s7 \1 l67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联 l6 S% y( Y- q* X1 r |7 r
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.
# d% \" M* e9 ?/ H" g+ D
' D( D: k4 \( h3 s- E出错检查:
. s# t M3 v( j7 S69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
9 K4 ?, V; R6 M& Q70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX( K- H- F+ s/ v; c, Y8 W
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
9 `3 a# c% D# U3 N6 ]: a$ S72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。/ X" z- O1 H. l6 X) ]5 g, s2 W
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
1 R8 h3 r% E$ a0 }74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端: S8 `$ o$ w* R9 _1 W5 t! H
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
& R$ i# F& R3 S3 p76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. 9 f$ [: \& p1 ?' Z/ S. j) _
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
7 J# }5 U+ e9 c( c' m$ h2 E8 a% r78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy+ D1 J- z$ D+ b5 f
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
; e p+ m( ?7 \- W80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
2 B) D$ T1 d/ T$ ?" `7 Y81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.7 w/ A3 j' }$ s& c
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.' I' ~8 v6 l, m" o" Y' V
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.8 ^$ g0 G3 O/ ?. W {
* H& F1 b) w& a1 e容易犯的错误
. D$ C& m( g! P7 U5 l5 \84 电阻忘记加dummy; J( c: Z: J* d% @" t
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
2 c5 m, M; i2 _, X7 T) N5 E4 f; I( i86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.+ c* s* \0 t0 d1 l0 k4 J. |
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx./ N% j& ]( r) h4 |; J+ q" M9 `$ J
88 是否按下capslock键后没有还原就操作
. @5 C5 R' A( S: O3 b' n) Y
) }, f4 J& x1 X节省面积的途径
& S+ v! i+ N0 o5 d0 c89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
9 u# X5 d- [4 g90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
+ u) r0 v5 S' y' o91 电阻的长度画越长越省面积。
- ~5 {% k& r8 M9 O/ B92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.: ~, a, i8 D9 {" W
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。. r1 ^# W# D0 h! _* F$ I
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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