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前的准备:
- B {2 K1 J K; E1 S2 s& P' \5 y1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.0 M1 j! H9 D4 F( D* P9 b
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
2 U$ I! @& i! [+ c3 布局前考虑好出PIN的方向和位置! N6 Q3 i* m- F. L
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起# Y2 w( A* k. H. v
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。" a# f: Y4 S# F; B# C! B; l5 Y) G5 \4 e
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
( G. P: w6 ?, A, n7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.3 [8 U9 s1 ^) t
8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
C1 G) c# s' V1 b9 将不同电位的N井找出来. X, x5 ?# h1 P8 |! Y
5 S# Y2 q- o- v: E$ p3 e6 D' a布局时注意:
# W( w. V; b! |# Q10 更改原理图后一定记得check and save
' i& N4 P8 M' y+ \/ [11 完成每个cell后要归原点5 R2 x# f% o" @& |' ~* ?9 a
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).8 f( U8 i& z- ~/ A3 p+ l( w0 Y
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。- W7 m+ c; i' m9 h& z2 f
14 尽量用最上层金属接出PIN。, }; C( i% L" e1 N, Y
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.' u; h9 X7 p1 t4 b8 q4 E4 m
16 金属连线不宜过长;( t: U5 L4 {, {* [# {! ?& v
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。( G* i, x4 r' M
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点." `( r4 S4 @: l% F9 E6 C- C
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
. ^8 j6 `, V% ?- a20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
& U# n8 k* ?5 r, e21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.& f, c" S6 V1 \( M! {6 Z+ x+ f' x; Z
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。7 F b$ N# j! H' D/ r; z3 \
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
( p6 K* Q2 T, r# C24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
! c, H/ ~ R: V% B25 一般打孔最少打两个
6 { g4 s$ k4 Q7 V6 m1 k26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
0 a, K3 y3 V3 a/ Q27 薄氧化层是否有对应的植入层+ g% D( L1 [, K$ S5 F0 d) Q
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间." J: ` j% u: @: b5 E0 O2 @
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度$ @4 T9 e& G4 L+ Y6 R" S
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
: o) z0 f+ B3 P; q31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。6 M" _( ~# r7 s0 R- g2 g9 F
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
' Z# I |3 D' r33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。) A) Q3 s$ W; d$ [' @. t
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um., n T+ Q0 c0 A. _5 G
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
( f) `$ w% Y @36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
% X; N1 ], _5 f5 j @37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。# Q$ f Q* C6 O1 h: H
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
2 Y- b4 v5 T% ]4 W39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。0 T4 \( k, s& k# A9 }
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly. A3 N0 Z0 S5 ^6 d2 N; W% u
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。" u d8 d5 }4 i' _" ^7 j: ?# d
42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.7 o( _' Z6 r7 @4 z6 E% k0 Z4 k
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
- J8 v9 p7 q/ v6 U6 ]+ E44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
+ f- }; h' D# l% o7 L$ T" K' ^45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
& a6 s4 P2 a) ]) t46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
7 e* d4 g1 o7 i' g2 c% i7 @1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)7 j' U; v; i8 |# D* A
21* j' L6 ^( b0 e# ~& }( B- @$ X" i
中心匹配最佳。
- ?9 \: v' ~% p; b) A% U47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
# M9 \ u1 H+ ~5 ~4 Q- I* Z48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
; k* e# D1 G$ [, ^ n' o8 {7 }! m49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。* \( q# v+ A0 K8 q2 q1 H* Z
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
4 Z5 b8 H; e) ^* C# i51 05工艺中resistor层只是做检查用
. i L L: }+ ], C' q3 K: m52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
! d& C* \$ d( g, J& ?2 E/ n: t: V53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
9 b; h8 M3 J' b8 G) V/ E54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
. W, N( S9 K: `55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
' b W# b+ Y1 r, J5 [( Z56 关于powermos
# p: x! t# X' o① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,
; F/ O0 T% G% f# C/ ~: i( H# L② 几种缩小面积的画法。/ H2 t+ [' {. J7 m( {6 B
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um i8 Y8 j0 d( w2 H4 P# Y: }' n
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
4 K' A6 \, s4 l58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
9 [" F% ]* e d( m59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
4 g) d$ }+ v$ E- o) Q60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
5 T' s* u; h' O+ h) P61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略., I! N0 t6 H7 L/ U! X0 A
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.0 @# v0 v" H2 g$ }6 B% l
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.) _4 |: @9 @& | q3 c: B
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
+ t8 l2 j. A& E$ i4 [$ Z65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.$ l9 p% c- t. j5 l
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角." n: C! x1 O3 J6 r' Z! G8 i, Y
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联: C" H% H7 X) @. r9 o
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.4 ~) B' Y+ G. _8 A+ R( a$ w& x
I* A2 h! Q8 Y$ p5 s3 d出错检查:
% Z' q% }0 v2 k" V69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
+ G' e" q/ t5 ?( o) p& F70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX2 J. q% \9 K' W6 z
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
4 Z6 r' R9 T* c& i6 ]" G2 n72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
! t6 o1 w; B* [: f. D2 n73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
2 q8 s4 V6 Z+ B x3 @, B& v74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端# r5 |$ E3 P3 \" X: R; j4 ]
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样. h0 K6 `2 Q/ f
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
3 I6 d3 j. n- L2 Q" k; D% `# Y77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.+ X/ P H; A; n( W V' _% ~0 b
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy, c+ p9 h; ?9 h# r! s, ~4 ^
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
- Y1 d5 c: h" `; y3 ?# U80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
' ~/ [8 x3 {( W' `5 [; Y81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
6 N+ ?' a8 m7 G" k9 W3 H5 d8 J/ |9 z82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
9 L1 g8 R- R, K' M' C, {$ ^83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
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容易犯的错误
7 {; ?7 X& r. N! _84 电阻忘记加dummy
4 x8 ]6 [7 S" _( }2 K. Z, f0 i85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
$ V) M: R. a# g; V86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
5 r. N; w, d8 p( D% B7 q87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.! y9 h! x- R! @$ S1 I" y
88 是否按下capslock键后没有还原就操作6 M9 H/ Q- W. B( c
( J! _* }. o! l, V+ D; [0 t9 w0 I& o节省面积的途径
' X8 }$ ]' ]3 f( _0 F89 电源线下面可以画有器件.节省面积.5 w4 R$ e* n# O; z
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。9 z) ]3 U5 y1 ?* K
91 电阻的长度画越长越省面积。
% q% t3 s3 d+ I92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.+ b$ M2 ^% L- w
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。1 j/ E7 l( [# j! o4 E0 `" O
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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