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前的准备:9 A5 a8 m( F) u1 u
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.: \8 \8 r: U) I- r5 m$ J& T8 D: E* U
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查., R1 d0 D: H$ Q1 P# t
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置$ a* }6 ]# b, R3 m5 Q
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
8 K; a0 ~5 X9 u! t8 S; Z5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。; a! |7 T( F& r* Z8 v8 O5 s" }3 O+ d. c
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
2 t& s' |8 c7 u/ `& I4 _# z7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
, ?! X* _# g3 @8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
) p% Z! g2 i' B; z' i) d+ L0 J9 将不同电位的N井找出来.
7 P' Y8 _: j E% C" R% z0 U/ H8 c: E, m% ~; a6 L9 Y8 }9 y. U
布局时注意:- x( |7 f0 g) ?0 v9 d3 B8 m
10 更改原理图后一定记得check and save
8 h, J3 D G% D9 j" _. C. y11 完成每个cell后要归原点& T" _6 b Y6 Z
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).; P' u1 i+ R. d% s
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。; |1 W; Y3 m1 E$ C9 z* q1 t
14 尽量用最上层金属接出PIN。
# O% E! ^# v1 I15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
8 `& ?% i9 K# z& z16 金属连线不宜过长;$ ~ w, V) `1 F" i0 V& q. F; X
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。* O* r8 y4 c" T4 v
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
* v5 E1 T }# y# v# ]19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
/ o* ]' L4 m3 h, W2 m20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
8 g9 O" _5 @$ m5 Z" [21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.7 ~- n3 Z" W8 M+ l, K% L
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。7 I A, K4 ^) N7 G% e
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
& w0 G6 v* J, j% T24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.6 p4 o! s5 O2 d, d/ `/ L0 D5 k
25 一般打孔最少打两个/ c5 s% H7 n# D2 u f" q7 G* c
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.; @! F+ `! @" N& P, ?
27 薄氧化层是否有对应的植入层
7 y( `) e# M. n3 m1 _6 Y28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.* `7 V% J# n5 b! v; B# e
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
% O! M% L0 L' }; y30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
0 u+ z# x: v, h4 W) m31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。3 Z/ }$ n4 f2 i
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
7 |$ f% E( h( b/ x( l/ B33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。; J2 C+ I3 c1 Q2 `
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.* h2 d- A# ~: j& f
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
! K* @7 w* G0 v5 o% X3 K36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.% s# K+ A% r @) G6 c
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。! l* O6 N! V9 n* i$ m" L2 n
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
; F+ C T& D: @. G! M39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。% C7 }* @- S/ Y9 N
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.6 H. u% b1 v* H$ ]6 q9 J
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
+ i: G( O$ B7 w% M( w# m42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
, Q) s" n( I5 _5 \1 n$ A43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.. Z; a! m! }% Q2 y
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
7 {; D0 _& _( c% U4 V& [45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.+ Z7 v' l ~, h: B6 C: s$ ^
46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。6 [' L j5 G4 J- H- w1 `
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)4 M" M* r, L- @( Z
217 j! ^ g! S- h% R. h, w( g4 W
中心匹配最佳。
' ]5 Q4 p) M) W2 {47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
5 t: ]! R5 q+ Y48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
6 \# a0 }0 R' ?49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
. v8 Z b5 b1 G2 p50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.2 ^9 B7 v# A9 b8 c2 w5 N# D* P
51 05工艺中resistor层只是做检查用" c% I% a( h/ n: m& {) I- W
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
5 d/ T/ ]/ |" \53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样. c1 z% u) k9 z6 R
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
4 h% M6 R" ^; Z- y# V55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.; A. S& {% d$ M! ^
56 关于powermos
3 b6 M3 Z' p ~# ?% {① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,) _: p. n* l! v, [( c" K' D' q( h
② 几种缩小面积的画法。$ g4 ?+ l. t6 q
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um5 ~4 }/ ^. r' Y6 r* W
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
/ K v( q% v) S, b* M D58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向# a/ x+ K: T2 A, w5 z4 L# C! p5 r
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
; e5 @" l2 G) R60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
, T0 n& @) W$ ^. D61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.: |8 B: m y& ` c
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.% O% L3 Z+ ]# c. O4 ]- Y; _* X
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.1 U+ T" h4 U5 Z* _/ z: U0 C
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
2 v, E4 M5 k- i65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
5 U. E& u1 h- C) M66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.0 ?6 e) e# n7 Y- v* W; Z! M
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联9 h6 Y9 v' ?" o' ~" k7 k$ V: y2 p# D
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.
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出错检查:
7 l. R, O( k: }4 o! u69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
' g+ T# H! {$ M; c5 c& O" N6 N70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX. L% y1 c2 V+ t4 `( q
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。8 L$ g. o( D9 L, P% G
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
% `( H7 p, D& Y" ]1 q73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起
) o& w8 u* s' Z9 r, f74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
; k# I$ y( Y; A( g75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
& l- p/ c Z+ I& T; v0 z76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
8 b( n, @5 O) T" z" M3 N" k( I/ e77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
. w$ F$ k1 i* H' D1 m- [8 P( _3 h9 ]78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
9 J& {* d. p" s. B! Q79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.) H2 _2 V, K" }# j$ Z0 u# w
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
! k8 N7 J/ e) u Y6 j. [81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.. J% S8 R: f/ S6 d
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
# \: ^6 M) P3 e% ^- c# G83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
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- K; G) y# p3 x7 w6 m$ c! j3 ]容易犯的错误
4 w, r7 d: H( T- S, h+ Y" ^84 电阻忘记加dummy* u5 ^5 B& o0 Q; h" i9 t U
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
/ {1 D9 w" n1 P& U1 U- B! `86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.* {- C$ F$ p# n Y3 E" U
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
: w$ n; y; e9 L88 是否按下capslock键后没有还原就操作" p. q* ~" D4 K
: V7 h5 F6 E! n" d; _节省面积的途径# Q3 y/ w. N4 p( W! l
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.$ I* i. N- l1 U0 j3 A( K4 g
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。( I; w. T- }7 C7 t1 R, V) m9 T
91 电阻的长度画越长越省面积。
4 a2 d! T6 u/ L; _1 i! q92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
8 q( A/ H+ G3 y4 n9 H0 e5 _+ C93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。) C4 S# A& I" e) J/ w
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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