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[仿真讨论] 表面粗糙度( surface roughness) 详解(一)表面粗糙度介绍.

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发表于 2016-5-6 15:53 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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本帖最后由 alexwang 于 2018-7-2 15:32 编辑 ! R* D+ P# Q5 v! X- _

/ \& ]# K) E7 Q$ k0 \! j/ t
表面粗糙度( surface roughness) 详解(一)表面粗糙度介绍.
" k: o3 M& J7 m

- _8 C; V2 ]; D
本文大纲
1.表面粗糙度( surface roughness)介绍.
2.表面粗糙度Model的建立.
3. 表面粗糙度( surface roughness)的仿真.
4.仿真与测试的比对,Which roughness model is better?

# D/ b4 H3 e# @# P
3 Q/ s: t  l, l5 d
关与Suface roughness
+ i) b( W' `4 W  _, n% }3 t2 y
铜箔表面粗糙度是指铜箔表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。铜箔表面粗糙度越小,则表面越光滑,反之相反。表面粗糙度与机械零件的配合性质、耐磨性、疲劳强度、接触刚度、振动和噪声等有密切关系。表面粗糙度起因于材料加工过程

( F" B/ z3 ^8 e( l) m8 V. J
Introduction

% o  E" t% a9 k; P4 f7 \) @! `$ T; E
; G! @: K: r/ g7 a- m7 C* C6 X
1.表面粗糙度起因于材料加工过程.

/ c0 g$ X/ s9 I9 b$ K7 K! X

3 H1 h, @8 Z* z4 k+ C5 j9 \图[1]铜箔加工工艺流程
2 ~8 K9 a, H. n  v0 b
由加工工艺可知,铜箔会有一面比较平坦(drum side),一面比较粗糙(matte  side). 图[1]

" j0 E+ r: \+ I7 K
2.为了让铜箔能与介电材料(FR4, 玻璃纤维编织版)热压黏合,通常在copper与FR4的接触面较粗糙. 图[2]
图[2]copper与FR4的接触面
7 y+ M! @6 r; x  D2 [4 o. [; s% M

3 q. T5 l: M" w( W" u图[3]接触面电镜图
) W% v9 z+ a" a) U5 P
Laser profilometer can get the RMS profile of copper surface.图[3]
Tooth height is typically 0.3-5.8um in RMS value, peak with 11um. 图[4]

) H2 u2 o) n2 k5 i0 e5 g9 y图[4]接触面截面图
  A& D0 j( o+ z7 ^1 n
3.表面粗糙对特性阻抗影响不大(约0.5ohm),但在高频对插入损耗影响很大(可能超过30%)。 图[5]
; k" _+ D' A1 y9 ^7 E8 |
图[5]损耗

) @0 ~+ n8 G: k% S6 R/ z) N, h
4.插入损耗(Insertion Lose, IL, S21)在较低频主要受导体损耗所影响(趋肤效应为主),在较高频则还有介质损耗

! H! `0 B' o4 O$ x/ u* W0 w
不论使用何种roughness model,与量测相比都可以得到不错的fitting结果,但roughness model的parameter取得,必须对不同的制程与cross section做量测correlation。如果不使用roughness model,则必须by cross section调整dielectric model\loss tangent来fitting S参数。roughness model将在下一节做详细介绍..

1 X, s' _: @, B; D/ b, E3 P
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发表于 2016-12-21 12:16 | 只看该作者
好东西啊,谢谢分享
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