主题0806第二贴

admin

MEMS传感器是物联网、人工智能、5G等新一代信息技术的感知基础和数据来源，已成为推动经济社会发展的关键基础与重要引擎。本文梳理了MEMS概念与分类、技术优势、应用领域及市场格局，探讨了MEMS产业链现状和特点，分析了产业发展机遇与趋势，并对我国如何实现产业升级提出了建议。

* ?9 k8 H) v; G; v

MEMS概要：原理与分类

MEMS全称Micro Electromechanical System，即微机电系统，是将微电子与精密机械结合发展的工程技术，尺寸在1微米到100微米量级，核心功能是将物理信号转换为电子设备能够识别的电信号，主要用于传感器。这需要MEMS器件具有通道、孔、悬臂、膜、腔等一系列结构以测量环境变量，涵盖机械（移动和旋转）、光学、电子（开关和计算）、热学、生物等功能结构，涉及众多交叉学科。

2 D" A6 G% p- a- r

MEMS传感器发展经历了三个阶段：1990~2000年的汽车电子化浪潮，点燃了MEMS传感器的需求；2000~2010年的消费电子浪潮，推动MEMS传感器呈现多品类、多功能一体化的发展态势；2010年至今的物联网及人工智能浪潮，带动了MEMS传感器单品放量、软硬协同化发展。

MEMS传感器的种类繁多，根据测量量不同可分为：MEMS物理传感器、MEMS化学传感器、MEMS生物传感器三大类，每一种MEMS传感器又有很多细分类别，如图2所示。常见的MEMS传感器有压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺仪、惯性传感器、MEMS硅麦克风等等。MEMS传感器的品种多到以万为单位，且不同MEMS之间参量较多，没有完全标准的工艺。