6 Q; Z3 G9 Q, M; V* [9 y. e$ R1 引言
2 h* y- u& ^3 J- G& e) q4 o6 T( {9 `& @
高可靠半导体器件在降额条件(Tj=100℃)下的现场使用失效率可以小于10-8/h,即小于10FIT,按照偶然失效期的指数分布推算,其平均寿命MTTF大于108h,即大于10000年。据文献报导,电子元器件的贮存失效率比工作失效率还要小
$ k8 a. H7 x q' J7 A% u
一个数量级,即小于1Fit。
$ }5 o8 I& U- i
- N+ p& ?9 \7 N7 K9 t# ^国内航天用电子元器件有严格的超期复验规定,航天各院都有自己的相应标准,其内容大同小异[1]。半导体器件在Ι类贮存条件下的有效贮存期最早规定为3年,后放宽到4年,最近某重点工程对进口器件又放宽到5年,比较随意。同时规定,每批元器件的超期复验不得超过2次。
% y6 t0 q: I7 K' p" a
* o3 Y" B8 M/ \* ]美军标规定对贮存超过36个月的器件在发货前进行A1分组、A2分组以及可焊性检验[2],并没有有效贮存期的规定。
+ y$ k+ K- z% c9 t( R* H" U) N+ T
/ C1 ]# Y9 X/ z: T, d2 m$ C在俄罗斯军用标准中,半导体器件的最短贮存期一般为25年,器件的服务期长达35年,和俄罗斯战略核武器的设计寿命30年相适应。
. e4 h3 D( O9 u# ^) g5 X: C; y9 R/ g& }0 ?1 i% J& { u2 m5 v
然而,国内对于半导体器件的贮存寿命尤其是有效贮存期有着不同的解释,在认识上存在着误区。国内的超期复验的规定过严,有必要参考美、俄的做法加以修订,以免大量可用的器件被判死刑,影响工程进度,尤其是进口器件,订货周期长,有的到货不久就要复验,在经济上损失极大。
8 o; k J7 Y& `5 U
/ ]2 G# |" U$ }9 Q5 ^" \2 芯片和管芯的寿命预计
+ _% v3 K) j# `2 X4 W
) T' b. Y q5 i2 k高可靠半导体器件通常采用成熟的工艺、保守的设计(余量大)、严格的质量控制、封帽前的镜检和封帽后的多项筛选,有效剔除了早期失效器件。用常规的
寿命试验方法无法评估其可靠性水平,一般采用加速
寿命试验方法通过阿列尼斯方程外推其MTTF,其芯片和管芯的寿命极长,通常大于108h,取决于失效机构激活能和器件的使用结温。
4 O# w' L/ m) v$ u5 u
9 f' i; D+ }2 C0 ?, f2 u+ p3 `% d! F
随着工艺技术的进展,半导体器件的激活能每年大约增长3%。据报道1975年的激活能为0?6eV,1995年增长到1?0eV,其MTTF每隔15年增长一倍,加速系数每隔5年增长一倍。
& z/ e- Q) a' A4 S8 ?' C- k' L4 r1 j8 |9 h! U1 o' o
化合物半导体器件微波性能优越,可靠性高,自80年代以来,在军事领域得到了广泛的应用。已报道的GaAsFET,HBT,MMIC电路的激活能一般都大于1?5eV,即加速系数非常大。MTTF的报道在109~1011h,外推至沟道温度100℃。
' ?% O: V( h/ H9 U& L" A% R! w" u
4 {! Z; p. u' R7 M+ ]加速
寿命试验能暴露芯片或管芯的主要失效机理有:金属化条电迁移、氧化层中和氧化物与半导体界面上的可动电荷、电击穿、界面上的金属化与半导体的相互作用以及金属间化合物等。
: B' y/ p8 q3 b! }. p
+ L @5 ?1 x) n3 H0 N! M! l/ @
3 超期复验和有效贮存期
' b" j9 t$ M2 o
6 |# @5 J# |. ^
由于半导体器件的芯片和管芯的寿命极长,因此超期复验的重点应关注与器件封装有关的失效机理。例如器件的外引线在多年贮存以后,有的会产生锈蚀,影响到可焊性,在装机后易产生虚焊故障和密封性不良的器件。在长期贮存中,水汽会进入管壳,产生电化学腐蚀,使内引线键合失效或电参数退化。不过对于密封性良好的器件,如漏率小于10-9Pa;m3/s,其腔体内外90%气体交换时间为20年,可以忽略外部水汽的影响。
: v u+ s( a+ I7 o j, S! o
6 I& j; w8 t# \7 B! o3 F2 x7 i) F8 X在美军标MIL-M-38510微电路总规范中规定:对制造厂存放超过36个月的微电路在发货前只要求重新进行B-3分组的可焊性试验,不要求重新进行A组检验,也没有有效贮存期的限制。俄罗斯对电子元器件的贮存性评估方法已制定了标准[3],其中有加速贮存和长期贮存两种试验方法,即使采用了加速贮存方法,也要积累多年的数据,也只能部分替代常规贮存试验。因此俄罗斯对其军用电子元器件最短贮存期限分档为15,20,25,30,35年是有充分依据的。
s# |& \! b/ h- ~5 }! S
) T4 o& r4 V+ B* \
我国航天部门提出的有效贮存期的依据并不充分,其3~5年的规定比较保守,各部门提出的规定也大同小异,建议对电子元器件制定统一的超期复验标准。有必要吸收俄罗斯的经验,因其标准体系相当严密,基础工作非常扎实,俄罗斯“和平号空间站”设计寿命为5年,而实际服务期限已超过15年,就是很好的例证。
/ P! q4 w, c, B5 k
$ o" K1 M. ~. I4 半导体器件长期贮存实例
% H. ]$ n# J6 D) w
" Y6 [9 G* M6 w( S' b4.1 美国宇航级晶体管
0 g" |4 V1 E5 Y0 ~' _9 c5 M
) @6 R$ K; r0 q7 GJANS2N2219AL为硅npn开关晶体管, PCM为800mW,采用TO?39封装,该批器件的生产日期为1980年,数量为42支。宇航级晶体管为美国军用半导体器件中最高的产品保证等级,它体现了当时半导体器件的最高质量水平。
; ?* D1 K$ w8 R- Z) C9 w
& B7 x" C+ F# Q6 B( C我们从1998年开始对该批器件进行了一系列的试验和检测,并于1999年进行了报道[4]。当时任抽10支管子进行过6000h的全功率
寿命试验,试验以后电参数变化极小, hFE先略微变大,过峰值后又略微变小,相对变化幅度小于2%。当时这批器件已经贮存了17年,可见长期贮存对它的使用可靠性无影响。
7 `& _/ R8 q% o& }0 k& g) h! K. U, U; B
2006年又对全部样品进行了电参数复测,hFE和1998年的参数全部吻合,没有明显的变化,证明了宇航级器件在实验室条件下贮存寿命极长,到目前为止已经贮存26年没有发现电参数有任何退化,并且外引线镀金层厚度为3μm,气密性全部合格,内部水汽含量抽检2支为2156和2343×10-6,均小于5000×10-6,管壳内99.7%为氮气,氧含量仅为100×10-6。