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半导体器件的贮存寿命

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发表于 2015-1-19 15:53 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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1 引言 高可靠半导体器件在降额条件(Tj=100℃)下的现场使用失效率可以小于10-8/h,即小于10FIT,按照偶然失效期的指数分布推算,其平均寿命MTTF大于108h,即大于10000年。据文献报导,电子元器件的贮存失效率比工作失效率还要小 一个数量级7 ~* x2 u" o( s0 R2 \2 Y
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6 Q; Z3 G9 Q, M; V* [9 y. e$ R1 引言
2 h* y- u& ^3 J- G& e) q4 o6 T( {9 `& @
高可靠半导体器件在降额条件(Tj=100℃)下的现场使用失效率可以小于10-8/h,即小于10FIT,按照偶然失效期的指数分布推算,其平均寿命MTTF大于108h,即大于10000年。据文献报导,电子元器件的贮存失效率比工作失效率还要小 $ k8 a. H7 x  q' J7 A% u
一个数量级,即小于1Fit。 $ }5 o8 I& U- i

- N+ p& ?9 \7 N7 K9 t# ^国内航天用电子元器件有严格的超期复验规定,航天各院都有自己的相应标准,其内容大同小异[1]。半导体器件在Ι类贮存条件下的有效贮存期最早规定为3年,后放宽到4年,最近某重点工程对进口器件又放宽到5年,比较随意。同时规定,每批元器件的超期复验不得超过2次。
% y6 t0 q: I7 K' p" a
* o3 Y" B8 M/ \* ]美军标规定对贮存超过36个月的器件在发货前进行A1分组、A2分组以及可焊性检验[2],并没有有效贮存期的规定。
+ y$ k+ K- z% c9 t( R* H" U) N+ T
/ C1 ]# Y9 X/ z: T, d2 m$ C在俄罗斯军用标准中,半导体器件的最短贮存期一般为25年,器件的服务期长达35年,和俄罗斯战略核武器的设计寿命30年相适应。
. e4 h3 D( O9 u# ^) g5 X: C; y9 R/ g& }0 ?1 i% J& {  u2 m5 v
然而,国内对于半导体器件的贮存寿命尤其是有效贮存期有着不同的解释,在认识上存在着误区。国内的超期复验的规定过严,有必要参考美、俄的做法加以修订,以免大量可用的器件被判死刑,影响工程进度,尤其是进口器件,订货周期长,有的到货不久就要复验,在经济上损失极大。
8 o; k  J7 Y& `5 U
/ ]2 G# |" U$ }9 Q5 ^" \2 芯片和管芯的寿命预计
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) T' b. Y  q5 i2 k高可靠半导体器件通常采用成熟的工艺、保守的设计(余量大)、严格的质量控制、封帽前的镜检和封帽后的多项筛选,有效剔除了早期失效器件。用常规的寿命试验方法无法评估其可靠性水平,一般采用加速寿命试验方法通过阿列尼斯方程外推其MTTF,其芯片和管芯的寿命极长,通常大于108h,取决于失效机构激活能和器件的使用结温。 4 O# w' L/ m) v$ u5 u
9 f' i; D+ }2 C0 ?, f2 u+ p3 `% d! F
随着工艺技术的进展,半导体器件的激活能每年大约增长3%。据报道1975年的激活能为0?6eV,1995年增长到1?0eV,其MTTF每隔15年增长一倍,加速系数每隔5年增长一倍。
& z/ e- Q) a' A4 S8 ?' C- k' L4 r1 j8 |9 h! U1 o' o
化合物半导体器件微波性能优越,可靠性高,自80年代以来,在军事领域得到了广泛的应用。已报道的GaAsFET,HBT,MMIC电路的激活能一般都大于1?5eV,即加速系数非常大。MTTF的报道在109~1011h,外推至沟道温度100℃。 ' ?% O: V( h/ H9 U& L" A% R! w" u

4 {! Z; p. u' R7 M+ ]加速寿命试验能暴露芯片或管芯的主要失效机理有:金属化条电迁移、氧化层中和氧化物与半导体界面上的可动电荷、电击穿、界面上的金属化与半导体的相互作用以及金属间化合物等。 : B' y/ p8 q3 b! }. p
+ L  @5 ?1 x) n3 H0 N! M! l/ @
3 超期复验和有效贮存期 ' b" j9 t$ M2 o
6 |# @5 J# |. ^
由于半导体器件的芯片和管芯的寿命极长,因此超期复验的重点应关注与器件封装有关的失效机理。例如器件的外引线在多年贮存以后,有的会产生锈蚀,影响到可焊性,在装机后易产生虚焊故障和密封性不良的器件。在长期贮存中,水汽会进入管壳,产生电化学腐蚀,使内引线键合失效或电参数退化。不过对于密封性良好的器件,如漏率小于10-9Pa;m3/s,其腔体内外90%气体交换时间为20年,可以忽略外部水汽的影响。
: v  u+ s( a+ I7 o  j, S! o
6 I& j; w8 t# \7 B! o3 F2 x7 i) F8 X在美军标MIL-M-38510微电路总规范中规定:对制造厂存放超过36个月的微电路在发货前只要求重新进行B-3分组的可焊性试验,不要求重新进行A组检验,也没有有效贮存期的限制。俄罗斯对电子元器件的贮存性评估方法已制定了标准[3],其中有加速贮存和长期贮存两种试验方法,即使采用了加速贮存方法,也要积累多年的数据,也只能部分替代常规贮存试验。因此俄罗斯对其军用电子元器件最短贮存期限分档为15,20,25,30,35年是有充分依据的。   s# |& \! b/ h- ~5 }! S
) T4 o& r4 V+ B* \
我国航天部门提出的有效贮存期的依据并不充分,其3~5年的规定比较保守,各部门提出的规定也大同小异,建议对电子元器件制定统一的超期复验标准。有必要吸收俄罗斯的经验,因其标准体系相当严密,基础工作非常扎实,俄罗斯“和平号空间站”设计寿命为5年,而实际服务期限已超过15年,就是很好的例证。 / P! q4 w, c, B5 k

$ o" K1 M. ~. I4 半导体器件长期贮存实例 % H. ]$ n# J6 D) w

" Y6 [9 G* M6 w( S' b4.1 美国宇航级晶体管 0 g" |4 V1 E5 Y0 ~' _9 c5 M

) @6 R$ K; r0 q7 GJANS2N2219AL为硅npn开关晶体管, PCM为800mW,采用TO?39封装,该批器件的生产日期为1980年,数量为42支。宇航级晶体管为美国军用半导体器件中最高的产品保证等级,它体现了当时半导体器件的最高质量水平。 ; ?* D1 K$ w8 R- Z) C9 w

& B7 x" C+ F# Q6 B( C我们从1998年开始对该批器件进行了一系列的试验和检测,并于1999年进行了报道[4]。当时任抽10支管子进行过6000h的全功率寿命试验,试验以后电参数变化极小, hFE先略微变大,过峰值后又略微变小,相对变化幅度小于2%。当时这批器件已经贮存了17年,可见长期贮存对它的使用可靠性无影响。
7 `& _/ R8 q% o& }0 k& g) h! K. U, U; B
2006年又对全部样品进行了电参数复测,hFE和1998年的参数全部吻合,没有明显的变化,证明了宇航级器件在实验室条件下贮存寿命极长,到目前为止已经贮存26年没有发现电参数有任何退化,并且外引线镀金层厚度为3μm,气密性全部合格,内部水汽含量抽检2支为2156和2343×10-6,均小于5000×10-6,管壳内99.7%为氮气,氧含量仅为100×10-6。
1 Z( T2 c; ~. A  l8 m
1 @, Y3 d0 f9 Q7 r

# v2 O) u  m* \; S; \6 w4 i4.2 特军级晶体管
' Y8 e1 `3 w' |& ~4 K
! C; U# O1 S$ _4 qJTX2N2405为硅npn开关晶体管, PCM为1W,TO-39封装,生产日期为1974年,已经贮存了32年。特军级晶体管的质量等级高于普军级(JAN),该批器件数量较大,共206支,管芯的图形较大,ICM为1A,内引线用金丝,在管芯处为球焊键合,为70年代的典型键合工艺。在贮存期间,对电参数进行过多次检测,全部符合规范要求,仅有1支管子,小电流hFE (1mA处)有退化迹象。管子的外引线镀金层质量良好,没有锈蚀现象,任抽10支样管做可焊性试验,全部合格,气密性经检测漏率小于10?9Pam3/s。 & w/ f9 Z# n" c

  A& I3 S' ~& `! A& a5 B. I4.3 早期的宇航级晶体管 , e, @5 e: a6 X7 b6 q7 r% g
1 a" w' w* Y$ ?( }: p5 @
JANS2N2222A为硅小功率开关晶体管,TO-18封装,相当于国产管3DK3,该批产品共5支,生产日期为1971年,已经贮存了35年,是美国TI公司早期生产的宇航级晶体管。经电参数检测,全部符合规范要求,hFE在微电流下也没有退化。 " F+ o- E  g7 c9 E

  ?; i, }3 b- O5 e0 t% k该管内引线采用当时典型的金丝球焊工艺,经过DPA检测,内引线键合拉力为2.9~6.5g,芯片剪切力为1.98kg。由于金丝和铝膜的键合在高温下会产生多种金铝化合物,严重时会产生开路失效,因此TI公司在80年代生产的宇航级晶体管2N2219中内引线使用铝丝超声键合工艺,消除了金铝化合物的失效模式。从DPA的数据来看,金丝球焊的键合拉力在贮存35年后,确有退化,2.9g数据为键合点脱开,6.5g为金丝拉断。该批器件的气密性良好,经检测漏率为10-9Pa;m3/s范围。 $ S7 v, U- F4 f. ^& N- I6 ^
1 A1 D9 J- ]* N, h4 U9 Q6 o
4.4 国产晶体管长期储存实例
5 i; J5 S" ^. T1 }* J) \. `
* y" ~% J& V' y' G4 n  J6 N  ]国家半导体器件质量监督检验中心从1984年起对各种国产高频小功率晶体管进行了许可证确认试验,当时每个品种从工厂抽样150支,用60支分别进行高温储存、工作寿命和环境试验,其余留作仲裁用。全部样品在Ⅰ类贮存条件的试验室保存了20多年,从2006年开始进行了长期贮存器件可靠性研究,现报道其中一例。
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, d4 A3 S1 ^' S" j3DG79晶体管为中放AGC专用管,生产时间为1983年,对库存100多支样管进行了常温电参数测试,全部符合规范要求,对其中5支标样进行了对比测试,发现hFE在贮存20年后平均下降了16% (年下降率0.8%),说明存在hFE退化机理,但未超出寿命试验失效判据(30%)。 ! n+ ]& i( z# c, X  J( }) y( Y3 U

0 n, e1 E4 k) a7 p6 i" a& z5 结论 & k; O( z3 P0 ?" @: i1 ~) b
" s" ?+ q3 d* X4 u2 i3 K: E- m
高可靠半导体器件的贮存寿命极长,对于气密性良好的金属或陶瓷封装器件,如果内部水汽含量小于5000×10-6,外引线镀层质量良好,在Ⅰ类条件的贮存期限可达到25年,甚至更长。 + f2 v1 f9 V: x2 B* e

/ F+ ]9 ~( e5 g0 @" P. p我国航天部门制订的超期复验标准中对于有效贮存期订的过严,建议参考俄罗斯标准作必要的修订,作为过渡方案,可以将半导体器件的有效贮存期先放宽到5年,这在某重点工程中已证明是可行的。
; _1 a+ g% p8 f8 k) X) h
+ W" h8 F2 `' R4 `' u7 B国内有关部门应加强电子元器件贮存可靠性及评估技术研究,制定相应统一的标准规范。

: k+ V6 F: t5 g3 W' z  a4 `9 E; r
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